マイクロEDMの特徴とプロセス

マイクロEDMの特徴。

1. マイクロEDMにおける材料除去は、電気的および熱的効果に依存しており、材料の加工性は、硬度や強度などの機械的特性よりも、主に導電性と熱特性に依存する。この加工法は、従来の切削加工法の限界を打ち破り、工具材料の制約を受けない。柔らかい工具を使用して硬い被加工物を加工することができるため、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、その他の硬い材料など、あらゆる難切削導電性材料の加工に適している。
2. 加工中に工具電極とワークが直接接触しないため、巨視的な切削力が発生しない。そのため、剛性の低いワークの加工に適しており、電極を非常に薄くすることができる。さらに、工具電極の形状を被加工物に容易に再現できるため、複雑な表面形状の被加工物の加工に適している。また、数値制御技術を用いることで、複雑な形状のワークも簡単に加工することができる。
3. 加工プロセスはシンプルで制御可能であり、パルスパラメーターは広い範囲で調整できる。荒加工、中仕上げ加工、仕上げ加工を同じ工作機械で連続して行うことができる。工程の自動化、デジタル制御、インテリジェント制御が容易に実現できる。
4. マイクロ放電加工機は主に金属などの導電性材料の加工に適しており、半導体や非導電性材料は特殊な条件下でしか加工できない。さらに、加工速度は比較的遅い。そのため、実際の生産では、マイクロ放電加工を行う前に、生産効率を向上させるために、まず切削加工法でストックの大部分を除去するのが一般的です。

マイクロEDMプロセス。

1. マイクロEDM成形。

   マイクロ放電加工とは、微小エネルギー電源と微小電極を用いて被加工物を放電させ、表面加工を行うことである。航空宇宙、精密機器、自動車製造などの分野では、マイクロホール（直径0.1mm以下の穴）が、そのユニークな機能構造から広く応用されている。例えば、航空機エンジンの高圧コンプレッサーのダンピングスリーブ、高圧タービンの前後軸のダンピングチューブやリング、電子顕微鏡の回折格子、自動車エンジンの燃料噴射装置などである。難削材への微細穴加工では、従来の微細加工法では加工精度が低く、加工品質も悪い。しかし マイクロ放電加工機 この技術は、非接触加工であること、巨視的な力がかからないこと、「柔軟性で硬さに打ち勝つ」ことができることなどの利点があり、難削材の微細穴加工に独自の利点をもたらし、効率的な微細穴加工を実現する。
   

2. ワイヤー放電研磨（WEDG）。

   ワイヤ放電研磨（WEDG）とは、移動するワイヤ電極を用いた電極ブランクの逆倣い加工を指す。加工プロセス中、ワイヤ電極とガイドの間には相対運動があり、ガイドが半径方向に微小送りの動きをする一方、工作物は回転して軸方向に送りを行います。このその場電極製造の加工方法は、二次クランプによる誤差を回避し、加工精度を向上させます。さらに、連続給電モードは、ワイヤ電極の損失を補償し、集中放電や短絡を回避し、連続放電加工を容易にします。電極ワイヤと電極ブランクは点放電加工を受けるため、工具電極の形状は成形動作の軌跡にのみ関係し、工具電極の自動成形を容易に実現できる。現在、ワイヤ放電加工による研削技術は、マイクロ超音波加工やマイクロ電気化学加工などの用途のマイクロ工具の準備に広く使用されている。

3. マイクロワイヤー放電加工。

   マイクロの基本原理 ワイヤー放電加工機 切断とは、移動する金属細線を電極として使用し、被加工物にパルス火花放電を行うことである。ワイヤ電極と被加工物の間の相対的な横方向の切断運動に依存して、さまざまな二次元、三次元、複雑な多次元表面の切断と成形を実現する。加工プロセスでより小径のワイヤ電極を使用するため、微細な不規則穴、狭い隙間、複雑な形状のワークの加工に使用できる。微小電極アレイは、医療における様々な組織系の培養やグループ微細穴の加工など、ライフサイエンスや微細グループ穴加工の分野で幅広く応用されている。その加工方法には、主にLIGA（リソグラフィ、電気メッキ、成形）法、スパークアシスト超音波複合逆コピー法、マイクロワイヤー放電加工切断法などがある。LIGA法は高価で時間がかかり、工程も複雑である。スパークアシスト超音波コンパウンド逆写し法は、簡単で効果的で安価であるが、加工時間が長く効率が悪い。マイクロワイヤーEDM切断法は、加工精度が高く、ミクロンレベルの表面品質が得られ、ほとんどの導電性材料を加工できるという利点がある。微小電極アレイの加工において、ユニークな利点がある。